bt3666a 精密砂轮划片机【图片-九游会体育线上平台

高效率高精度高性能

bt3666a 精密砂轮划片机主要用于半导体晶圆、集成电路、qfn、发光二极管、miniled、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转，将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的半自动操作。该机型配置了大功率对向式双主轴，z1和z2轴上都配置了ncs和专用显微镜，大幅度减少对准和检查时间，从而降低人工成本、提高生产效率。

产品详情产品参数样品案例

产品介绍

应用领域：

ic、qfn封装、dfn封装、bga封装、led基板、光学光电、光通讯等行业

可切材料：

硅片、陶瓷、玻璃、氧化铝、pcb板、氮化铝、铌酸锂、石英等

bt3666a 精密砂轮划片机为12英寸半自动动精密划片机，采用高精密进口主要配件，t轴采用dd马达，重复精度1μm，稳定性极强，兼容6"-12"材料，双ccd视觉系统，性能达到业界一流水平

设备工作流程：

1.下取物臂将待切割材料从晶片盒中取出，将待切割材料放置到预校准台进行预校准，再送到工作盘上，进行划片作业。

2. 上取物臂从工作盘将切割完成的材料移动到清洗盘上，进行二流体清洗和晶片干燥。

3 .下取物臂将切割完成的材料放回预校准台进行预校准，再推回晶片盒中。

产品参数

项目	产品型号	bt3666a 精密砂轮划片机
	加工尺寸	≤ø305mm/□390mm×390mm/定制
	运动方式	双轴对向式、半自动
x轴	最大速度	600mm/s
x轴	直线度	1.5μm全行程
y轴	有效行程	310mm
	定位精度	1μm全行程
	分辨率	0.1μm
z轴	有效行程	40mm
	单步步尽量	0.0001mm
	最大刀轮直径	60mm或定制
t轴	转动角度范围	380
主轴	最大转速	60000rpm/min
主轴	额定输出功率	直流（dc）1.5/1.8/2.4kw
基础规格	电源	三相ac220v/50hz
	压缩空气	0.5-0.6mpa、max420l/min
	切削水	0.2-0.3mpa、max 12l/min
	排风流量	10m³/min
	尺寸（mm）	1500mm(w)×1420mm(d)×1810mm(h)
	重量	1500kg

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行业方案

双轴半自动划片机

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